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193nm投影光刻物镜光机系统关键技术研究进展 期刊论文
中国科学:技术科学, 2017, 页码: 565-581
作者:  张德福;  李显凌;  芮大为;  李朋志;  东立剑;  张建国
caj(2036Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：534/129  |  提交时间：2018/04/09
集成电路  光刻  投影物镜  波像差  调节机构  主动光学  
基于位相分布限制衍射光学元件的散斑抑制方法 期刊论文
光子学报, 2017, 页码: 101-107
作者:  梁传样;  张巍;  芮大为;  隋永新;  杨怀江
caj(1690Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：323/104  |  提交时间：2018/04/09
衍射光学  散斑抑制  位相调制  衍射光学元件  全息投影显示  
基于硅基液晶实现激光投影显示系统匀光整形和散斑抑制 期刊论文
中国激光, 2016, 期号: 12, 页码: 20-26
作者:  梁传样;  张巍;  芮大为;  隋永新;  杨怀江
caj(1669Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：349/110  |  提交时间：2017/09/17
激光光学  衍射光学  散斑抑制  空间光调制器  衍射光学元件  激光投影显示  
基于小物镜系统的热像差影响因素分析 期刊论文
激光与光电子学进展, 2014, 期号: 9, 页码: 201-208
作者:  周连生;  于新峰;  吴志会;  芮大为;  张巍
caj(1405Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：355/94  |  提交时间：2015/04/17
光学设计  光机热集成分析  热像差  有限元法  Zernike多项式  折射率均匀性  热载  
光刻物镜光瞳极平衡性标定方法 期刊论文
中国激光, 2014, 期号: 9, 页码: 282-289
作者:  芮大为;  史振广;  袁文全;  张巍
caj(390Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：313/97  |  提交时间：2015/04/17
光学设计  光刻物镜  光瞳极平衡  远心度