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扫描干涉场曝光系统中光束对准误差及其控制 期刊论文
光学学报, 2017, 页码: 247-256
作者:  王玮;  巴音贺希格;  潘明忠;  宋莹;  李文昊
caj(798Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：317/101  |  提交时间：2018/04/09
光学设计  光栅  扫描干涉场曝光  光束对准  曝光对比度  位置解耦  角度解耦  
扫描干涉场曝光系统中干涉条纹周期精确测量方法 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 07, 页码: 55-64
作者:  姜珊;  巴音贺希格;  潘明忠;  李文昊;  宋莹
caj(3588Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：217/88  |  提交时间：2016/07/06
光栅  扫描干涉场曝光系统  干涉条纹周期测量  相位锁定  
Offner型与Dyson型长波红外成像光谱仪性能对比研究 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 10, 页码: 306-312
作者:  孙佳音;  刘英;  李淳;  刘建卓;  张晓龙;  孙强
caj(428Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：361/134  |  提交时间：2015/04/17
光谱学  长波红外成像光谱仪  数值孔径  Dyson  Offner  
扫描干涉场曝光系统中周期设定对曝光刻线相位的影响 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 9, 页码: 55-62
作者:  姜珊;  巴音贺希格;  李文昊;  宋莹;  潘明忠
caj(447Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：330/94  |  提交时间：2015/04/17
光栅  扫描干涉场曝光系统  相位锁定  光栅周期  刻线误差  
基于修正简化模式法的熔融石英光栅分束器设计 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 7, 页码: 231-237
作者:  王斌;  郝鹏;  吴一辉;  李胤
caj(341Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：308/98  |  提交时间：2015/04/17
光栅  衍射理论  多层膜  相位差  分束器