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用于曲面光栅刻蚀的工作台轨迹拟合及测试误差分析 期刊论文
光学精密工程, 2018, 期号: 03, 页码: 588-596
作者:  沈晨;  谭鑫;  朱继伟;  张伟;  齐向东
收藏  |  浏览/下载：216/0  |  提交时间：2019/09/17
衍射光栅  曲面闪耀光栅  光栅刻蚀  三维工作台  圆弧拟合算法  轨迹误差  
Trajectory-fitting and testing error analysis of stage for curved grating etching 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2018, 卷号: 26, 期号: 3, 页码: 588-596
作者:  Shen, Chen;  Tan, Xin;  Zhu, Ji-Wei;  Zhang, Wei;  Qi, Xiang-Dong
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Curve fitting  Diffraction gratings  Errors  Etching  
Effect and compensate of grating curvature radius error in Seya-Namioka monochromator 期刊论文
Chinese Optics, 2018, 卷号: 11, 期号: 4, 页码: 623-629
作者:  Meng, Zhu;  Tan, Xin;  Bayanheshig;  Wang, Wei;  Liu, Zhao-Wu;  Zhao, Xu-Long
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Error compensation  Monochromators  Ray tracing  
Seya-Namioka单色仪中光栅曲率半径误差的影响及补偿 期刊论文
中国光学, 2018, 期号: 04, 页码: 623-629
作者:  孟竹;  谭鑫;  巴音贺希格;  王玮;  刘兆武;  赵旭龙
收藏  |  浏览/下载：320/0  |  提交时间：2019/09/17
曲率半径误差  Seya-Namioka光栅  光线追迹  使用参数  误差补偿