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Trajectory-fitting and testing error analysis of stage for curved grating etching 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2018, 卷号: 26, 期号: 3, 页码: 588-596
作者:  Shen, Chen;  Tan, Xin;  Zhu, Ji-Wei;  Zhang, Wei;  Qi, Xiang-Dong
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Curve fitting  Diffraction gratings  Errors  Etching  
Effect and compensate of grating curvature radius error in Seya-Namioka monochromator 期刊论文
Chinese Optics, 2018, 卷号: 11, 期号: 4, 页码: 623-629
作者:  Meng, Zhu;  Tan, Xin;  Bayanheshig;  Wang, Wei;  Liu, Zhao-Wu;  Zhao, Xu-Long
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Error compensation  Monochromators  Ray tracing