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新型二氟乙烯端基异硫氰酸酯化合物的合成及性能 期刊论文
高等学校化学学报, 2017, 页码: 1788-1795
作者:  李娟利;  彭增辉;  李建;  胡明刚;  安忠维;  张璐
caj(1635Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：398/130  |  提交时间：2018/04/09
二氟乙烯基  异硫氰酸酯  向列相  双折射率  旋转黏度  
乙炔桥键四环异硫氰酸酯液晶化合物的合成及性能 期刊论文
液晶与显示, 2017, 页码: 692-700
作者:  李娟利;  彭增辉;  李建;  安忠维;  张璐
caj(329Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：443/129  |  提交时间：2018/04/09
液晶  乙炔  异硫氰酸酯  介晶性  双折射率  
193nm投影光刻物镜光机系统关键技术研究进展 期刊论文
中国科学:技术科学, 2017, 页码: 565-581
作者:  张德福;  李显凌;  芮大为;  李朋志;  东立剑;  张建国
caj(2036Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：534/129  |  提交时间：2018/04/09
集成电路  光刻  投影物镜  波像差  调节机构  主动光学  
光刻物镜热像差主动补偿系统设计与实验 期刊论文
光学学报, 2017, 页码: 302-310
作者:  东立剑;  崔庆龙;  李朋志;  赵磊
caj(3959Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：333/88  |  提交时间：2018/04/09
光学设计  光刻物镜  热像差  主动光学  像散  响应函数