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径向预紧力对反射镜重力变形的补偿作用 期刊论文
光学学报, 2016, 期号: 4, 页码: 276-283
作者:  贾树强;  黄玮;  徐象如;  姚长呈
caj(1656Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：288/102  |  提交时间：2017/09/17
光学器件  表面变形  面形补偿  预紧力  有限元方法  
同轴两反式高NA投影光刻物镜热像差补偿方法研究 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 10, 页码: 111-118
作者:  徐象如;  黄玮;  贾树强;  徐明飞
caj(1710Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：282/84  |  提交时间：2016/07/06
成像系统  投影光刻物镜  热像差  元件位移  分区加热  
差分五棱镜扫描法在波前检测中的应用 期刊论文
中国光学, 2014, 期号: 6, 页码: 1003-1011
作者:  汤兆鑫;  黄玮;  许伟才;  刘立峰;  徐象如
caj(654Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：330/94  |  提交时间：2015/04/17
波前检测  差分五棱镜扫描法  平行光管  误差分析