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同轴两反式高NA投影光刻物镜热像差补偿方法研究 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 10, 页码: 111-118
作者:  徐象如;  黄玮;  贾树强;  徐明飞
caj(1710Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：290/86  |  提交时间：2016/07/06
成像系统  投影光刻物镜  热像差  元件位移  分区加热