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扫描干涉场曝光系统光斑尺寸与光路设计 期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 166-175
作者:  王玮;  姜珊;  宋莹;  巴音贺希格
caj(4189Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：375/137  |  提交时间：2018/04/09
光栅  扫描干涉场曝光系统  高斯光束  光斑尺寸  光路设计  
扫描曝光系统中二维工作台x轴测量镜的面形在线检测 期刊论文
中国激光, 2016, 页码: 231-236
作者:  刘兆武;  李文昊;  巴音贺希格;  宋莹;  姜珊;  李晓天;  吕强
caj(310Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：279/74  |  提交时间：2018/04/09
测量  光检测技术  二维工作台  测量镜面形  光栅  激光干涉仪  
扫描干涉场曝光光束自动对准及其收敛性分析 期刊论文
中国激光, 2016, 期号: 12, 页码: 176-183
作者:  王玮;  巴音贺希格;  宋莹;  姜珊;  潘明忠
caj(1764Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：272/96  |  提交时间：2017/09/17
光栅  扫描干涉场曝光系统  光束对准  收敛性能  装调误差  
基于多像素光子计数器的赝热光场Fano因子研究 期刊论文
中国激光, 2011, 卷号: 38, 期号: 10, 页码: 1008010-1
作者:  张合勇;  郭劲;  赵帅;  王挺峰
Adobe PDF(1542Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：527/177  |  提交时间：2012/05/11
激光远场聚焦特性实验研究 期刊论文
中国激光, 2011, 卷号: 38, 期号: 3, 页码: 0302005-1
作者:  张合勇;  郭劲;  赵帅;  王挺峰;  邵俊峰
Adobe PDF(1257Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：442/137  |  提交时间：2012/05/11