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| 扫描干涉场曝光系统中光束对准误差及其控制 期刊论文 光学学报, 2017, 页码: 247-256 作者: 王玮; 巴音贺希格; 潘明忠; 宋莹; 李文昊 caj(798Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:317/101  |  提交时间:2018/04/09 光学设计 光栅 扫描干涉场曝光 光束对准 曝光对比度 位置解耦 角度解耦 |
| 基于线阵图像传感器的高分辨力单圈绝对式编码方法 期刊论文 光学学报, 2016, 期号: 11, 页码: 111-117 作者: 杜颖财; 宋路; 万秋华; 于海 caj(194Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:280/95  |  提交时间:2017/09/17 测量 高分辨力 编码方式 图像识别 码盘 |
| 光电测量设备图像高频频谱对主观评价的影响 期刊论文 光学学报, 2016, 期号: 4, 页码: 109-115 作者: 张宁; 沈湘衡; 叶露; 宋莹 caj(1597Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:340/96  |  提交时间:2017/09/17 成像系统 光电测量设备 高频频谱 调制传递函数 低通滤波器 主观评价 |
| 基于快速图像识别的单圈绝对式编码器译码方法 期刊论文 光学学报, 2016, 期号: 11 作者: 杜颖财; 宋路; 万秋华; 于海 收藏  |  浏览/下载:216/0  |  提交时间:2017/09/17 高分辨力 编码方式 图像识别 码盘 |
| 扫描干涉场曝光系统中周期设定对曝光刻线相位的影响 期刊论文 光学学报, 2014, 期号: 9, 页码: 55-62 作者: 姜珊; 巴音贺希格; 李文昊; 宋莹; 潘明忠 caj(447Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:330/94  |  提交时间:2015/04/17 光栅 扫描干涉场曝光系统 相位锁定 光栅周期 刻线误差 |
| 基于坐标旋转数字计算算法的小型光电编码器细分 期刊论文 光学学报, 2014, 期号: 2, 页码: 34-39 作者: 冯英翘; 万秋华; 宋超; 孙莹; 赵长海 caj(311Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:323/95  |  提交时间:2015/04/17 光栅 光电编码器 细分误差 坐标旋转数字计算算法 精度 |