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确定单晶硅湿法刻蚀制作中阶梯光栅中刻蚀截止点的方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: 201310251594.9, 申请日期: 2014-11-19, 公开日期: 2014-11-19
发明人:  焦庆斌 谭鑫 巴音贺希格 齐向东
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厚膜倒装调整制作多级微反射镜的方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: 201210255733.0, 申请日期: 2014-11-19, 公开日期: 2014-11-19
发明人:  梁静秋 梁中翥 郑莹
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基于编码器特征点的光学圆靶标动态误差标定方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: 201210134956.1, 申请日期: 2014-11-19, 公开日期: 2014-11-19
发明人:  贺庚贤 宁飞 李俊霖
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厚膜倒装调整与定位生长多层膜混合制作多级微反射镜的方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: 201210255713.3, 申请日期: 2014-10-15, 公开日期: 2014-10-15
发明人:  梁静秋;  梁中翥;  郑莹
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一种自动聚焦垂直腔面发射激光器 专利
专利类型: 发明, 专利号: 201310066180.9, 申请日期: 2014-10-15, 公开日期: 2014-10-15
发明人:  张星;  宁永强;  秦莉;  刘云;  王立军
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一种用于点衍射干涉仪针孔对准的装置和方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: 201110449616.3, 申请日期: 2014-07-09, 公开日期: 2014-07-09
发明人:  张海涛;  于杰;  马冬梅;  金春水
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一种垂直腔面发射激光器及其制作方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: 201210279639.9, 申请日期: 2014-07-09, 公开日期: 2014-07-09
发明人:  宁永强;  张祥伟;  秦莉;  刘云;  王立军
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垂直腔面发射激光器及其制作方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: 201210279632.7, 申请日期: 2014-07-09, 公开日期: 2014-07-09
发明人:  宁永强;  张祥伟;  秦莉;  刘云;  王立军
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高精度光学元件面形检测工装夹具 专利
专利类型: 发明, 专利号: 201210199493.7, 申请日期: 2014-07-09, 公开日期: 2014-07-09
发明人:  田伟;  王汝冬;  王平;  王立朋;  隋永新
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布拉格反射波导双光束激光器及其应用方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: 201210164640.7, 申请日期: 2014-04-16, 公开日期: 2014-04-16
发明人:  汪丽杰;  佟存柱;  杨晔;  王立军;  曾玉刚;  张俊
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