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碳污染清洗工艺对极紫外光刻光学元件反射率的影响 期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 170-175
作者:  王依;  卢启鹏;  高云国
caj(173Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：334/111  |  提交时间：2018/04/09
薄膜  极紫外光刻  碳污染  清洗技术  反射率  
基于面形检测的光学元件多层膜均匀性测量 期刊论文
中国激光, 2015, 期号: 07, 页码: 267-272
作者:  王辉;  周烽;  喻波;  谢耀;  于杰;  刘钰;  王丽萍
caj(1280Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：339/117  |  提交时间：2016/07/06
测量  光刻技术  有限元分析  高复现性支撑装置  薄膜均匀性测量  
非均匀混合调制光栅衍射效率计算方法及特性分析 期刊论文
中国激光, 2014, 期号: 8, 页码: 220-229
作者:  何天博;  巴音贺希格;  张善文;  李文昊;  唐玉国
caj(658Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：306/98  |  提交时间：2015/04/17
光栅  体全息光栅  衍射特性  混合调制  衰减光栅  
用于ArF准分子激光器的CaF2衬底性能的实验表征 期刊论文
中国激光, 2011, 期号: 10, 页码: 1002005
作者:  邓文渊;  金春水
Adobe PDF(830Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：503/138  |  提交时间：2012/05/11
深紫外氧化物薄膜的光学特性 期刊论文
中国激光, 2011
作者:  金春水;  李春;  邓文渊;  匡尚奇
Adobe PDF(465Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：481/117  |  提交时间：2012/05/11
基于掠入射X射线反射镜的Mo/Si多层膜扩散系数测量 期刊论文
中国激光, 2011, 卷号: 38, 期号: 11
作者:  喻波;  李春;  金春水
Adobe PDF(568Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：421/120  |  提交时间：2012/05/11
声光调QCO2激光器的动力学模型 期刊论文
中国激光, 2011, 卷号: 38, 期号: 7, 页码: 0702002-1
作者:  谢冀江;  张来明;  李殿军;  郭劲
Adobe PDF(1362Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：356/133  |  提交时间：2012/05/11
点衍射干涉仪基准波前测试技术研究 期刊论文
中国激光, 2011, 卷号: 38, 期号: 5, 页码: 0508003-1-6
作者:  马冬梅
Adobe PDF(462Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：615/221  |  提交时间：2012/05/11
高功率脉冲CO2激光器9.3μm波长选支研究 期刊论文
中国激光, 2011, 卷号: 38, 期号: 3, 页码: 0302008-1
作者:  邵春雷;  杨贵龙;  李殿军;  郭劲
Adobe PDF(1555Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：382/120  |  提交时间：2012/05/11