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| 光刻物镜系统波像差横向剪切干涉绝对检测方法研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者: 张璐
 caj(6271Kb) |  收藏 | 浏览/下载：136/0 | 提交时间：2020/08/24
光刻物镜 光学检测 波像差 光栅横向剪切干涉仪 绝对检测 |
| 紫外高分辨率像散校正型罗兰全息光栅设计 期刊论文
光谱学与光谱分析, 2017, 页码: 3616-3620
作者: 赵旭龙; 巴音贺希格; 李文昊; 姜岩秀; 吴娜; 张桐
 caj(1328Kb) | 收藏 | 浏览/下载：444/148 | 提交时间：2018/04/09
罗兰光栅 像散校正 光栅设计 |
| Interference Fringe Locking by Grating-Shifting Holographic Grating Exposure 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 5
作者: Song, Y.; X. Zhao; Y. Jiang; Bayanheshig and X. Qi
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| Design of Ultraviolet High-Resolution Astigmatic Correction Rowland Holographic Grating 期刊论文
Spectroscopy and Spectral Analysis, 2017, 卷号: 37, 期号: 11
作者: Zhao, X. L.; Bayanheshig; W. H. Li; Y. X. Jiang; N. Wu and T. Zhang
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| Numerical simulation and experiments on unstable resonator for non-chain DF laser 期刊论文
Hongwai yu Jiguang Gongcheng/Infrared and Laser Engineering, 2017, 卷号: 46, 期号: 2
作者: Ruan, P.; Q. Pan; J. Xie; C. Liu and Y. Chai
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| Integrated design to complement aberrations of spherical focusing mirrors and concave holographic gratings in spectrometers 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2016, 卷号: 36, 期号: 6
作者: Zhao, X.; Bayanheshig; W. Li; Y. Jiang and S. Yang
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| Testing methods of high-gradient conformal aspheric surfaces based on annular sub-aperture stitching 期刊论文
Hongwai yu Jiguang Gongcheng/Infrared and Laser Engineering, 2016, 卷号: 45, 期号: 4
作者: Wang, H.; M. Ming; T. Lv and H. Zou
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| Experiment of restraint of atmospheric turbulence using diversity technology based on analysis of offshore laser communication 期刊论文
Hongwai yu Jiguang Gongcheng/Infrared and Laser Engineering, 2016, 卷号: 45, 期号: 3
作者: Li, Y.; S. Gao and L. Sheng
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| Study on the Effects and Compensation Effect of Recording Parameters Error on Imaging Performance of Holographic Grating in On-Line Spectral Diagnose 期刊论文
Spectroscopy and Spectral Analysis, 2016, 卷号: 36, 期号: 3
作者: Jiang, Y. X.; Bayanheshig; S. Yang; X. L. Zhao; N. Wu and W. H. Li
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| Design of compliant micro-motion mechanism for linearity calibration of capacitive displacement sensors 期刊论文
Yi Qi Yi Biao Xue Bao/Chinese Journal of Scientific Instrument, 2016, 卷号: 37, 期号: 6
作者: Zhang, D.; X. Li; C. Ge; M. Ni and K. Guo
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