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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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深紫外光刻投影物镜温度特性研究
期刊论文
中国激光, 2016, 期号: 5, 页码: 276-285
作者:
姚长呈
;
巩岩
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提交时间:2017/09/17
光学制造
光刻投影物镜
温度分布模型
仿真分析
热像差
光刻物镜中主动透镜的变形和像差特性
期刊论文
光学学报, 2016, 期号: 4, 页码: 261-268
作者:
姚长呈
;
巩岩
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提交时间:2017/09/17
光学设计
主动光学
光刻物镜
热像差补偿
像散
光刻投影物镜恒温水套小比例模型的设计与性能测试
期刊论文
激光与光电子学进展, 2016, 期号: 8, 页码: 146-151
作者:
彭海峰
;
于新峰
;
秦硕
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提交时间:2017/09/17
测量
投影物镜
恒温水套
热像差
温度测试
Evaluation of absorption measurement uncertainty of laser calorimeter by exponential method
期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 2
作者:
Gu, Y.-Q.
;
L.-C. Zhang
;
X.-Y. Wu
;
L. Mei and G. Shi
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提交时间:2017/09/11
Research on temperature distribution of deep ultraviolet lithographic projection objective
期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2016, 卷号: 43, 期号: 5
作者:
Yao, C. and Y. Gong
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提交时间:2017/09/11
Research on deformation and aberration of active plate used in lithographic objective
期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2016, 卷号: 36, 期号: 4
作者:
Yao, C. and Y. Gong
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提交时间:2017/09/11