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月基极紫外相机Mo/Si多层膜反射镜的空间质子辐照稳定性 期刊论文
激光杂志, 2021, 卷号: 42, 期号: 11, 页码: 24-29
作者:  李云鹏;  陈波;  吕鹏;  杨洪臣;  王华朋
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Cleaning of carbon contamination on multilayer optics of EUVL 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2017, 卷号: 25, 期号: 11
作者:  Song, Y.;  Q.-P. Lu;  X.-P. Gong;  Y. Wang and Z.-Q. Peng
浏览  |  Adobe PDF(603Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：310/109  |  提交时间：2018/06/13
Radiation calibration of EUV space cameras 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 5
作者:  He, L.-P.;  B. Chen;  H.-J. Zhang;  S.-J. Liu and X.-G. Wang
Adobe PDF(333Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：357/114  |  提交时间：2017/09/11
基于面形检测的光学元件多层膜均匀性测量 期刊论文
中国激光, 2015, 期号: 07, 页码: 267-272
作者:  王辉;  周烽;  喻波;  谢耀;  于杰;  刘钰;  王丽萍
caj(1280Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：342/120  |  提交时间：2016/07/06
测量  光刻技术  有限元分析  高复现性支撑装置  薄膜均匀性测量  
Measurement of thickness uniformity of optic multilayer based on surface figure measurement 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2015, 卷号: 42, 期号: 7
作者:  Wang, H.;  F. Zhou;  B. Yu;  Y. Xie;  J. Yu;  Y. Liu and L. Wang
Adobe PDF(1398Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：310/93  |  提交时间：2016/08/24
用于空间太阳望远镜的双波段极紫外反射镜 期刊论文
光电子.激光, 2014, 期号: 7, 页码: 1298-1302
作者:  刘震
caj(533Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：257/70  |  提交时间：2015/04/17
极紫外(Euv)  双波段多层膜  太阳望远镜  反射率  磁控溅射  
球面微通道板在极紫外波段的量子探测效率 期刊论文
光学 精密工程, 2011, 卷号: 19, 期号: 11, 页码: 2596-2602
作者:  尼启良;  陈斌;  王海峰
Adobe PDF(471Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：454/97  |  提交时间：2012/05/11
23.4nm软X射线多层膜反射镜研制 期刊论文
光谱学与光谱分析, 2011, 期号: 04, 页码: 1138-1141
作者:  刘震;  李旭;  马月英;  陈波;  曹健林
caj(422Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：395/114  |  提交时间：2013/03/11
极紫外  多层膜反射镜  磁控溅射  X射线衍射仪  反射率计  
球面镜真空紫外光谱反射率的高精度测量 期刊论文
光谱学与光谱分析, 2011, 卷号: 31, 期号: 1, 页码: 277-281
作者:  王淑荣;  黄煜
Adobe PDF(2139Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：294/70  |  提交时间：2012/05/11
小型高精度软X射线_极紫外反射率计 期刊论文
光学精密工程, 2008, 期号: 10
作者:  尼启良;  刘世界;  陈波
caj(231Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：442/75  |  提交时间：2012/09/25