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| 掩模位置误差对光刻投影物镜畸变的影响 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 3, 页码: 469-476
作者: 杨旺; 黄玮 ; 尚红波
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光刻 光学设计 光刻投影物镜 畸变 勒让德多项式 公差分析 |
| Effect of alignment errors of reticle on distortion in lithographic projection lens 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 3
作者: Yang, W.; W. Huang and H.-B. Shang
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| 差分五棱镜扫描法在大口径波前检测中的应用 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 汤兆鑫
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测量 波前检测 差分五棱镜扫描法 误差分析 |
| 光学精密透镜的光力学耦合分析与优化设计 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 刘永明
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| 自由曲面表征函数及其应用研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 王超
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| S-H波前传感器在计算机辅助装调中的应用研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2013
作者: 赵菲菲
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计算机辅助装调 S-h波前传感器 投影光刻物镜 质心探测精度 阈值选取 |
| 磁共振脉冲优化设计 学位论文
: 中国科学院大学, 2013
作者: 蒋瑞瑞
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磁共振 最优控制 Grape 带宽 射频场不均匀性 |
