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大型中阶梯光栅衍射效率测试仪器设计与集成 期刊论文
仪器仪表学报, 2015, 期号: 09, 页码: 2057-2067
作者:  何煦;  成贤锴
caj(1827Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：244/90  |  提交时间：2016/07/06
中阶梯光栅  衍射效率  测试仪器  设计与标校  
大型衍射光栅刻划机微定位系统控制器设计 期刊论文
仪器仪表学报, 2015, 期号: 02, 页码: 473-480
作者:  糜小涛;  于宏柱;  高键翔;  于海利;  张善文;  齐向东
caj(515Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：308/93  |  提交时间：2016/07/06
微定位系统  控制器设计  数学模型  定位精度  
高精度衍射光栅刻划机的最新技术进展 期刊论文
仪器仪表学报, 2001, 期号: S2, 页码: 438-439
作者:  时轮;  郝德阜;  齐向东
caj(37Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：358/74  |  提交时间：2013/03/11
衍射光栅刻划机  双重定位  间歇式  连续式  
高精度的光电式衍射光栅刻划机 期刊论文
仪器仪表学报, 2001, 期号: S2, 页码: 103-104
作者:  时轮;  郝德阜;  齐向东
caj(31Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：371/68  |  提交时间：2013/03/11
光栅刻划机  控制原理  对比  
衍射光栅刻划机分度误差的实时测量 期刊论文
仪器仪表学报, 1993, 期号: 04, 页码: 408-411
作者:  杨厚民;  王晓琳
caj(168Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：396/66  |  提交时间：2013/03/12
分度误差:6432  衍射光栅刻划机:5052  实时测量:5031  理论分析:1780  均匀性误差:1158  分辨率:955  原理:837  不确定度:828  脉冲填充:694  鬼线:693