CIOMP OpenIR  > 中科院长春光机所知识产出
高精度的光电式衍射光栅刻划机
时轮; 郝德阜; 齐向东
2001-12-30
发表期刊仪器仪表学报
期号S2页码:103-104
关键词光栅刻划机 控制原理 对比
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/28332
专题中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式
GB/T 7714
时轮,郝德阜,齐向东. 高精度的光电式衍射光栅刻划机[J]. 仪器仪表学报,2001(S2):103-104.
APA 时轮,郝德阜,&齐向东.(2001).高精度的光电式衍射光栅刻划机.仪器仪表学报(S2),103-104.
MLA 时轮,et al."高精度的光电式衍射光栅刻划机".仪器仪表学报 .S2(2001):103-104.
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