Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 高精度衍射光栅刻划机的最新技术进展 | |
| 时轮; 郝德阜; 齐向东 | |
| 2001-12-30 | |
| 发表期刊 | 仪器仪表学报
 |
| 期号 | S2页码:438-439 |
| 关键词 | 衍射光栅刻划机 双重定位 间歇式 连续式 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/28977 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 时轮,郝德阜,齐向东. 高精度衍射光栅刻划机的最新技术进展[J]. 仪器仪表学报,2001(S2):438-439. |
| APA | 时轮,郝德阜,&齐向东.(2001).高精度衍射光栅刻划机的最新技术进展.仪器仪表学报(S2),438-439. |
| MLA | 时轮,et al."高精度衍射光栅刻划机的最新技术进展".仪器仪表学报 .S2(2001):438-439. |
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