Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 193nm光刻投影物镜单镜支撑仿真分析及实验研究 | |
田伟 ; 王平; 王汝冬; 王立朋; 隋永新
| |
| 2012-08-10 | |
| 发表期刊 | 中国激光
 |
| 期号 | 08页码:227-232 |
| 关键词 | 应用光学 193nm光刻 运动学支撑 光学检测 有限元法 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/27225 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 田伟,王平,王汝冬,等. 193nm光刻投影物镜单镜支撑仿真分析及实验研究[J]. 中国激光,2012(08):227-232. |
| APA | 田伟,王平,王汝冬,王立朋,&隋永新.(2012).193nm光刻投影物镜单镜支撑仿真分析及实验研究.中国激光(08),227-232. |
| MLA | 田伟,et al."193nm光刻投影物镜单镜支撑仿真分析及实验研究".中国激光 .08(2012):227-232. |
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| 193nm光刻投影物镜单镜支撑仿真分析及（724KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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