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Influence and Revising Method of Grating Ruling Engine's Abbe Error on Quality of Grating Wavefront 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 9
作者:  Mi, X.;  H. Yu;  H. Yu;  X. Qi;  X. Li and Q. Wan
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基于双频激光干涉仪的精密定位系统设计 期刊论文
实验室研究与探索, 2016, 期号: 11, 页码: 72-75
作者:  陈昊;  陈琦;  蒋贵德
caj(227Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：442/114  |  提交时间：2017/09/17
双频激光干涉仪  气浮导轨  精密定位  前馈控制  
Development of arc-edge tool lapping machine for grating ruling based on leverage load mode 期刊论文
Jixie Gongcheng Xuebao/Journal of Mechanical Engineering, 2016, 卷号: 52, 期号: 9
作者:  Jirigalantu;  X. Li;  K. Liu;  S. Zhang;  Bayanheshig;  X. Qi and Y. Tang
浏览  |  Adobe PDF(745Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：322/83  |  提交时间：2017/09/11
基于双频激光干涉仪大载荷纳米微动台的研制 期刊论文
实验室研究与探索, 2014, 期号: 12, 页码: 54-57
作者:  陈琦;  钟君
caj(165Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：328/114  |  提交时间：2015/04/17
压电陶瓷  纳米定位  气浮导轨  激光干涉仪  
基于电容微位移传感器的大载荷微动台的研制 期刊论文
应用科技, 2014, 期号: 6
作者:  陈琦
Unknown(565Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：247/69  |  提交时间：2015/04/17
纳米定位  压电陶瓷  气浮导轨  电容微位移传感器