中文版 | English

在结果中检索

CIOMP OpenIR

浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助

限定条件        
已选(0)清除 条数/页：   排序方式：
极紫外光刻物镜分组可视化界面设计优化 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 12, 页码: 135-143
作者:  王君;  王丽萍;  金春水;  苗亮;  谢耀
caj(1576Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：332/99  |  提交时间：2016/07/06
光学设计  极紫外光刻  可视化界面  初始结构  
同轴两反式高NA投影光刻物镜热像差补偿方法研究 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 10, 页码: 111-118
作者:  徐象如;  黄玮;  贾树强;  徐明飞
caj(1710Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：292/86  |  提交时间：2016/07/06
成像系统  投影光刻物镜  热像差  元件位移  分区加热  
利用面形精修技术去除投影物镜中的三叶像差 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 08, 页码: 279-284
作者:  赵阳;  王平;  史振广;  谷勇强;  刘春来;  门树东
caj(3398Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：275/106  |  提交时间：2016/07/06
几何光学  三叶像差  面形精修  条纹泽尼克多项式  
膜系引入偏振像差对投影光刻物镜设计的影响与改进 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 01, 页码: 346-353
作者:  尚红波;  刘春来;  张巍;  陈华男
caj(1604Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：278/64  |  提交时间：2016/07/06
光学制造  投影光刻物镜  膜系  偏振像差  对比度