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| 光栅刻划机阿贝误差对光栅衍射波前质量的影响及其校正方法 期刊论文 中国激光, 2017, 页码: 148-156 作者: 糜小涛; 于海利; 于宏柱; 齐向东; 李晓天; 万秋华 caj(3271Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:548/117  |  提交时间:2018/04/09 衍射光栅 阿贝误差 衍射波前 刻线位置误差 刻划机 |
| 大光栅刻划机气浮刀架导轨设计与分析 期刊论文 中国激光, 2015, 期号: 04, 页码: 266-272 作者: 宋楠; 冯树龙; 于海利; 齐向东; 巴音贺希格; 唐玉国 caj(1313Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:322/135  |  提交时间:2016/07/06 光栅 衍射光栅 光栅刻划机 气浮导轨 双频激光干涉仪 刀架系统 |
| 光栅刻划机衍射波前质量的主动控制校正方法 期刊论文 中国激光, 2015, 期号: 01, 页码: 239-246 作者: 杨超; 于海利; 张善文; 于宏柱; 李晓天; 唐玉国 caj(1321Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:332/124  |  提交时间:2016/07/06 光栅 刻划光栅 光栅波前 刻线位置误差 转角误差 压电驱动器 |
| 光栅刻划机300mm行程工作台研制及其自适应控制方法 期刊论文 中国激光, 2014, 期号: 6, 页码: 175-182 作者: 李晓天; 于海利; 齐向东; 朱继伟; 于宏柱; 巴音贺希格 caj(724Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:356/103  |  提交时间:2015/04/17 光栅 光栅刻划机 宏微两级工作台 Bp神经网络 Pid控制 自适应控制 |
| 机械刻划光栅的刻线弯曲与位置误差对平面光栅性能影响及其修正方法 期刊论文 中国激光, 2013, 期号: 03, 页码: 232-239 作者: 李晓天; 巴音贺希格; 齐向东; 于海利; 唐玉国 caj(1210Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:423/115  |  提交时间:2014/03/07 光栅 平面光栅 光栅刻线弯曲 光栅刻线位置误差 衍射波前 光栅指标 |