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干涉测量波面重构DCT算法研究 期刊论文
中国光学, 2014, 期号: 6, 页码: 1012-1018
作者:  王永伟;  艾华;  卓仁善;  曹艳波
caj(544Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：416/132  |  提交时间：2015/04/17
干涉测量  离散余弦变换  相位解包裹  最小二乘法  曲面拟合  
光纤点衍射干涉仪波面参考源研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  代晓珂
Adobe PDF(2717Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：248/2  |  提交时间：2015/05/03
光学检测  极紫外光刻  波面参考源  偏振控制