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短相干菲索型动态干涉仪的关键技术研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:  樊孝贺
caj(4313Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：140/0  |  提交时间：2020/08/24
短相干  菲索型  动态干涉仪  条纹图配准  相位解包裹  误差补偿  
光纤点衍射干涉仪波面参考源研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  代晓珂
Adobe PDF(2717Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：248/2  |  提交时间：2015/05/03
光学检测  极紫外光刻  波面参考源  偏振控制  
干涉仪的仪器传递函数检测方法研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2013
作者:  孙鸽
Adobe PDF(2452Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：416/2  |  提交时间：2014/03/15
菲索型干涉仪  干涉仪的仪器传递函数  空间频率响应特性  标准测试板