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Design of micro-optical system for laser displacement sensor sensing probe 期刊论文
Chinese Optics, 2018, 卷号: 11, 期号: 6, 页码: 1001-1010
作者:  Zhang, Shuang;  Zhu, Wan-Bin;  Li, Jian;  Lu, Xiu- E.
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Optical systems  Displacement measurement  Energy transfer  Optical design  Probes  
Beam Alignment Error and Its Control in Scanning Beam Interference Lithography System 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2017, 卷号: 37, 期号: 7
作者:  Wang, W.;  Bayanheshig;  M. Pan;  Y. Song and W. Li
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Beam alignment and convergence analysis of scanning beam interference lithography systems 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2016, 卷号: 43, 期号: 12
作者:  Wang, W.;  Bayanheshig;  Y. Song;  S. Jiang and M. Pan
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大型望远镜四通形位误差检测方法研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2015
作者:  刘晓宇
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大口径望远镜  四通  形位误差  激光跟踪仪  自准直测量  
基于带状弹簧的薄膜主镜支撑及自展开机构的设计与检测 学位论文
: 中国科学院大学, 2015
作者:  冯善辉
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自展开机构  带状弹簧  应变能分析  模态分析  Psd位置传感器  重复定位精度  
WolterⅠ型反射镜面形检测装置的改进 期刊论文
光学学报, 2011, 卷号: 31, 期号: 4, 页码: 0412007-1
作者:  张宏吉;  陈波
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Wolter Ⅰ型反射镜面形检测装置的改进 期刊论文
光学学报, 2011, 期号: 04, 页码: 140-145
作者:  崔天刚;  张宏吉;  马文生;  陈波
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测量  Wolteri型反射镜面形  表面轮廓扫描  倾斜度误差  位置敏感探测器  
大直径内孔自动测量机构倾斜度测量研究 期刊论文
仪器仪表学报, 2011, 期号: 01, 页码: 63-68
作者:  王高文;  曲兴华;  邢书剑;  代雷
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倾斜度测量  大直径内孔  位置敏感探测器  
大直径内径自动测量机构倾斜度测量研究 期刊论文
仪器仪表学报, 2011, 卷号: 32, 期号: 1
作者:  王高文;  代雷
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基于PSD的微位移传感器 期刊论文
传感器与微系统, 2007, 期号: 3
作者:  梁凤超
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