Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 基于PSD的微位移传感器 | |
| 梁凤超 | |
| 2007-03-20 | |
| 发表期刊 | 传感器与微系统
 |
| 期号 | 3 |
| 摘要 | 微弱电流的放大与处理是基于位置敏感探测器(PSD)的微位移传感器的关键技术。分析了电流—电压转换原理,指出转换误差主要来源于偏置电流及失调电压。应用屏蔽、Guard、避免自激等技术设计了前放电路,实现了微弱电流信号的提取。传感器工作距离为10mm,测量范围为±0.5mm,采用精度为±0.5μm的装置驱动钢板进行微位移测量,实验数据表明:传感器分辨力为±0.5μm,检测精度为±2%。 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/23829 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 梁凤超. 基于PSD的微位移传感器[J]. 传感器与微系统,2007(3). |
| APA | 梁凤超.(2007).基于PSD的微位移传感器.传感器与微系统(3). |
| MLA | 梁凤超."基于PSD的微位移传感器".传感器与微系统 .3(2007). |
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