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| 移栅型全息光栅曝光干涉条纹锁定 期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 233-240
作者: 宋莹; 赵旭龙; 姜岩秀; 巴音贺希格; 齐向东
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全息 全息光栅 干涉条纹锁定 分束光栅 叠栅条纹 |
| Interference Fringe Locking by Grating-Shifting Holographic Grating Exposure 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 5
作者: Song, Y.; X. Zhao; Y. Jiang; Bayanheshig and X. Qi
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| Beam Alignment Error and Its Control in Scanning Beam Interference Lithography System 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2017, 卷号: 37, 期号: 7
作者: Wang, W.; Bayanheshig; M. Pan; Y. Song and W. Li
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| Design of Spot Size and Optical Path in Scanning Beam Interference Lithography System 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 9
作者: Wang, W.; S. Jiang; Y. Song and Bayanheshig
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| Profile online detection for two-dimensional stage x axis mirror in scanning exposure systems 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 1
作者: Liu, Z. ; W. Li; Bayanheshig; Y. Song; S. Jiang; X. Li and Q. Lu
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| 干涉条纹相位变化对平面全息光栅曝光的影响 期刊论文
激光技术, 2016, 期号: 3, 页码: 339-343
作者: 宋莹
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光栅 光栅曝光 数值计算 条纹相位变化 曝光对比度 掩模槽形 |
| Detection and calculation of mosaic grating error based on wavefront method 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2016, 卷号: 36, 期号: 5
作者: Lu, Y.; X. Qi; X. Mi; S. Jiang; H. Yu; X. Li and L. Yin
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| Beam alignment and convergence analysis of scanning beam interference lithography systems 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2016, 卷号: 43, 期号: 12
作者: Wang, W.; Bayanheshig; Y. Song; S. Jiang and M. Pan
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| 小型高分辨率平场凹面光栅光谱仪研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2015
作者: 周辉
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平场凹面光栅光谱仪 小型化 高分辨率 优化设计 机械装调 误差分析 |
| 一种全息光栅曝光系统结构 期刊论文
长春工业大学学报(自然科学版), 2014, 期号: 6, 页码: 639-644
作者: 撖芃芃
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全息光栅 波前质量 模态分析 稳定性 |
