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| 基于衍射光栅的干涉式精密位移测量系统 期刊论文
中国光学, 2017, 页码: 39-50
作者: 吕强; 李文昊; 巴音贺希格; 柏杨; 刘兆武; 王玮
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位移测量 光栅 衍射干涉 高精度 |
| Reflective Static Fourier Spectrometer Optical System Based on Double Right-Angle Beam Splitter 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2017, 卷号: 37, 期号: 8
作者: Li, W.; Q. Lu; Y. Song and X. Yu
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| A Stepped Mirror Based Temporally and Spatially Modulated Imaging Fourier Transform Spectrometer : Principle and Data Processing 期刊论文
Spectroscopy and Spectral Analysis, 2017, 卷号: 37, 期号: 12
作者: Gao, J. H.; J. Q. Liang; J. G. Lu; Z. Z. Liang; Y. X. Qin and W. B. Wang
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| Impact of carbon contamination cleaning technologies on reflectivity of extreme ultraviolet lithography optics 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 3
作者: Wang, Y.; Q. Lu and Y. Gao
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| Profile online detection for two-dimensional stage x axis mirror in scanning exposure systems 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 1
作者: Liu, Z. ; W. Li; Bayanheshig; Y. Song; S. Jiang; X. Li and Q. Lu
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| 国内学术期刊同行评议现状的调研——基于国内自动化领域作者群和评审专家群 期刊论文
中国科技期刊研究, 2016, 期号: 1
作者: 陈培颖; 陈倩; 李娜; 李树军; 卢炎; 张莹; 杨锐; 贾守新; 常唯
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同行评议 论文作者 评审专家 问卷调研 |
| 扫描曝光系统中二维工作台x轴测量镜的面形在线检测 期刊论文
中国激光, 2016, 页码: 231-236
作者: 刘兆武; 李文昊; 巴音贺希格; 宋莹; 姜珊; 李晓天; 吕强
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测量 光检测技术 二维工作台 测量镜面形 光栅 激光干涉仪 |
| Automatic compensation system for Moire fringe photoelectric signal 期刊论文
Hongwai yu Jiguang Gongcheng/Infrared and Laser Engineering, 2016, 卷号: 45, 期号: 2
作者: Gao, X.; Q. Wan; X. Lu; Y. Du and W. Chen
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| Analysis and Design of Interference Imaging System in Fourier Transform Imaging Spectrometer Based on Multi-Micro-Mirror 期刊论文
Spectroscopy and Spectral Analysis, 2016, 卷号: 36, 期号: 5
作者: Lu, J. G.; J. Q. Liang; Z. Z. Liang; C. Tian and Y. X. Qin
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| Investigation on pure phase modulation characteristics of liquid crystal spatial light modulator at oblique incidence 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2016, 卷号: 43, 期号: 1
作者: Lu, Q.; L. Sheng; X. Zhang; J. Bai and Y. Qiao
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