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| Application of improved quantum evolutionary algorithm in design of broadband EUV multilayer 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2017, 卷号: 25, 期号: 8
作者: Kuang, S.-Q.; C. Zhang; Y.-M. Wang; X.-Y. Zhou and Y. Xie
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| Impact of carbon contamination cleaning technologies on reflectivity of extreme ultraviolet lithography optics 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 3
作者: Wang, Y.; Q. Lu and Y. Gao
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| Cleaning of carbon contamination on multilayer optics of EUVL 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2017, 卷号: 25, 期号: 11
作者: Song, Y.; Q.-P. Lu; X.-P. Gong; Y. Wang and Z.-Q. Peng
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| Image quality evaluation of Wolter X-ray nested telescope 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2016, 卷号: 36, 期号: 3
作者: Zhao, D.; B. Chen; P. Liu and L. He
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| Design and fabrication of broadband Mo/Si multilayer films for extreme ultra violet lithography illumination system 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2016, 卷号: 43, 期号: 4
作者: Yu, B. ; C. Li; C. Jin and C. Wang
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| 偏振发光二极管的设计研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2015
作者: 周昂
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发光二极管 光子晶体 偏振层 液晶 可调谐器件 数值模拟 |
| 基于面形检测的光学元件多层膜均匀性测量 期刊论文
中国激光, 2015, 期号: 07, 页码: 267-272
作者: 王辉; 周烽; 喻波; 谢耀; 于杰; 刘钰; 王丽萍
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测量 光刻技术 有限元分析 高复现性支撑装置 薄膜均匀性测量 |
| Measurement of thickness uniformity of optic multilayer based on surface figure measurement 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2015, 卷号: 42, 期号: 7
作者: Wang, H.; F. Zhou; B. Yu; Y. Xie; J. Yu; Y. Liu and L. Wang
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| 远紫外感应式阳极光子计数成像探测器研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 韩素立
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| ArF准分子激光高反射薄膜技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 常艳贺
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