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光刻物镜系统波像差横向剪切干涉绝对检测方法研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:  张璐
caj(6271Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:214/0  |  提交时间:2020/08/24
光刻物镜  光学检测  波像差  光栅横向剪切干涉仪  绝对检测  
基于TDLAS技术的小型化乙炔气体检测系统的研制 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:  陈越
caj(3843Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:143/0  |  提交时间:2020/08/24
TDLAS技术  乙炔气体浓度检测  波长调制技术  激光调制  可调节光程气室  
Error measurement system of incremental photoelectric encoder based on space position 期刊论文
Hongwai yu Jiguang Gongcheng/Infrared and Laser Engineering, 2017, 卷号: 46, 期号: 10
作者:  Lu, X.;  L. Song;  Q. Wan;  H. Yu and X. Liu
浏览  |  Adobe PDF(489Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:441/179  |  提交时间:2018/06/13
Compensation for adjustment error in high positioning accuracy turntable measuring system 期刊论文
Jilin Daxue Xuebao (Gongxueban)/Journal of Jilin University (Engineering and Technology Edition), 2017, 卷号: 47, 期号: 3
作者:  Yan, Y.-Y.;  W. Liu and J.-J. Fu
浏览  |  Adobe PDF(392Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:346/131  |  提交时间:2018/06/13
大口径球面/非球面疵病检测仪结构设计及实验研究 期刊论文
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 2016, 期号: 6
作者:  杨荟琦
收藏  |  浏览/下载:187/0  |  提交时间:2017/09/17
疵病检测仪  精密仪器  机械结构设计  运动学模型  精度模型  
基于色散条纹传感技术的拼接镜共相方法研究 期刊论文
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 2016, 期号: 6
作者:  孟玉凰
收藏  |  浏览/下载:190/0  |  提交时间:2017/09/17
色散条纹传感器  拼接镜  共相检测  平移误差  主动光学  
高陡度保形光学非球面环形子孔径检测方法 期刊论文
红外与激光工程, 2016, 期号: 4, 页码: 148-154
作者:  王洪浩;  明名;  吕天宇;  邹惠莹
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高陡度  高精度检测  环形子孔径拼接  拼接算法  
激光直写机床系统正交性误差影响下计算全息图相位分析 期刊论文
光学学报, 2016, 期号: 10, 页码: 385-392
作者:  郑立功;  郝腾;  国成立;  王若秋;  张志宇
caj(1198Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:419/64  |  提交时间:2017/09/17
测量  计算全息图  激光直写  标量衍射理论  对准区域  正交性误差  
基于色散条纹传感技术的拼接镜共相方法 期刊论文
光学学报, 2016, 期号: 9, 页码: 140-150
作者:  孟玉凰;  徐抒岩;  许博谦
caj(2618Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:322/113  |  提交时间:2017/09/17
成像系统  共相检测  色散条纹传感器  拼接镜  活塞误差  
用于高精度非球面面形检测的计算全息图的设计 期刊论文
激光与光电子学进展, 2016, 期号: 9, 页码: 70-77
作者:  高松涛;  武东城;  于长淞
caj(3281Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:390/109  |  提交时间:2017/09/17
测量  计算全息图  非球面  投影光刻物镜  衍射鬼像  干涉仪