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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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研究单元&专题
中科院长春光机所知识... [6]
作者
杨海贵 [2]
文献类型
期刊论文 [10]
发表日期
2020 [2]
2018 [2]
2017 [3]
2016 [2]
2015 [1]
语种
中文 [5]
出处
Guangxue J... [3]
Guangxue X... [3]
Zhongguo J... [3]
Guangzi Xu... [1]
资助项目
收录类别
EI [10]
资助机构
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Research on Surface Roughness Related Coating Processes of Mo/Si Multilayers
期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2020, 卷号: 40, 期号: 10, 页码: 7
作者:
S. Sun,C. Jin,B. Yu,T. Guo,S. Yao,C. Li and W. Deng
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提交时间:2021/07/06
Reflection and Resputtering of Mo/Si Atoms During High-Energy Deposition
期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2020, 卷号: 40, 期号: 11, 页码: 8
作者:
S. Sun,C. Jin,B. Yu,T. Guo,S. Yao,C. Li and W. Deng
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提交时间:2021/07/06
Design and fabrication of EUV broadband multilayer mirrors with discrete thicknesses
期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2018, 卷号: 26, 期号: 10, 页码: 2395-2406
作者:
Kuang, Shang-Qi
;
Li, Shuo
;
Yang, Hai-Gui
;
Huo, Tong-Lin
;
Zhou, Hong-Jun
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提交时间:2019/09/17
Multilayers
Extreme ultraviolet lithography
Fabrication
Mirrors
Reflection
Design and Fabrication of Broadband Discrete Extreme-ultraviolet Multilayer Based on Quantum State Genetic Algorithm
期刊论文
Guangzi Xuebao/Acta Photonica Sinica, 2018, 卷号: 47, 期号: 4
作者:
Kuang, Shang-Qi
;
Zhang, Chao
;
Li, Shuo
;
Yang, Hai-Gui
;
Huo, Tong-Lin
;
Zhou, Hong-Jun
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提交时间:2019/09/17
Quantum theory
Fabrication
Genetic algorithms
Magnetron sputtering
Multilayers
Reflection
Application of improved quantum evolutionary algorithm in design of broadband EUV multilayer
期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2017, 卷号: 25, 期号: 8
作者:
Kuang, S.-Q.
;
C. Zhang
;
Y.-M. Wang
;
X.-Y. Zhou and Y. Xie
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提交时间:2018/06/13
Impact of carbon contamination cleaning technologies on reflectivity of extreme ultraviolet lithography optics
期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 3
作者:
Wang, Y.
;
Q. Lu and Y. Gao
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提交时间:2018/06/13
Cleaning of carbon contamination on multilayer optics of EUVL
期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2017, 卷号: 25, 期号: 11
作者:
Song, Y.
;
Q.-P. Lu
;
X.-P. Gong
;
Y. Wang and Z.-Q. Peng
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提交时间:2018/06/13
Image quality evaluation of Wolter X-ray nested telescope
期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2016, 卷号: 36, 期号: 3
作者:
Zhao, D.
;
B. Chen
;
P. Liu and L. He
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提交时间:2017/09/11
Design and fabrication of broadband Mo/Si multilayer films for extreme ultra violet lithography illumination system
期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2016, 卷号: 43, 期号: 4
作者:
Yu, B.
;
C. Li
;
C. Jin and C. Wang
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提交时间:2017/09/11
Measurement of thickness uniformity of optic multilayer based on surface figure measurement
期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2015, 卷号: 42, 期号: 7
作者:
Wang, H.
;
F. Zhou
;
B. Yu
;
Y. Xie
;
J. Yu
;
Y. Liu and L. Wang
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提交时间:2016/08/24