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基于经验模态分解/高阶统计法实现微机械陀螺降噪 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 3, 页码: 574-581
作者:  王延东;  张涛;  杨春雷;  马经纬
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Mems陀螺  信号消噪  经验模态分解  高阶统计  本征模态函数  软阈值  Hurst指数  
基于MEMS工艺的高能量密度微电磁驱动器 期刊论文
光学精密工程, 2007, 期号: 6
作者:  吴一辉
caj(530Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:322/60  |  提交时间:2012/09/25
准分子激光刻蚀技术在微机械中的应用研究 期刊论文
光学精密工程, 1999, 期号: 05, 页码: 63-66
作者:  梁静秋;  姚劲松
caj(53Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:495/50  |  提交时间:2013/03/11
准分子激光  直接刻蚀  微机械零件  
微机械元件和仪器新进展 期刊论文
光学精密工程, 1999, 期号: 01, 页码: 11-16
作者:  邵培革;  王立鼎;  任延同
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微机械  元件  仪器  
MEMS研究的新进展——微型系统及其发展应用的研究 期刊论文
光学精密工程, 1997, 期号: 01, 页码: 68-74
作者:  李路明;  王立鼎
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微型系统  微机械  
微型运载系统构成原理的研究 期刊论文
光学精密工程, 1996, 期号: 03, 页码: 1-5
作者:  崔天宏;  王立鼎;  吕琼莹
caj(193Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:373/59  |  提交时间:2013/03/11
微机械  微型运载系统  组成原理  
行波式压电微电机的等效电路特性 期刊论文
光学精密工程, 1996, 期号: 02, 页码: 42-47
作者:  马建旭;  王立鼎;  崔天宏;  昌琼莹
caj(184Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:400/74  |  提交时间:2013/03/11
等效电路  行波式压电微电机  微机械  
用于微机械工艺的精密电铸设备 期刊论文
光学精密工程, 1995, 期号: 03, 页码: 60-63
作者:  陈英俊;  徐峰林;  宣明
caj(82Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:429/61  |  提交时间:2013/03/11
微型机械  Liga工艺  精密电铸设备  
IH工艺在微机械中的应用 期刊论文
光学精密工程, 1994, 期号: 06, 页码: 18-23
作者:  崔天宏;  王立鼎;  吕琼莹;  汪洪涛
caj(165Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:284/55  |  提交时间:2013/03/11
Ih工艺  微机械  立体光刻