Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 基于MEMS工艺的高能量密度微电磁驱动器 | |
吴一辉
| |
| 2007-06-15 | |
| 发表期刊 | 光学精密工程
 |
| 期号 | 6 |
| 摘要 | 提出了制作高能量密度电磁驱动器的工艺方法。利用微机械(MEMS)工艺在硅片上得到多匝平面线圈和磁芯的掩模图形,接着沉积种子层铜(Cu),然后对种子层进行整体Cu的电铸;当种子层生长到20μm左右时,剥离硅片表面的镀层并用光刻胶保护磁芯位置的镀层;再用沿线电铸的方法对线圈进行电铸;最后保护制作好的线圈镀层,电铸NiFe合金材料。在10mm×10mm×0.38mm的硅片上,制作出线圈匝数22×2(铜线截面积60μm×60μm、总长度达1164mm)、NiFe合金磁芯尺寸为3mm×3mm×0.2mm的高能量密度微型电磁驱动器。把这种微型驱动器应用于无阀微泵做驱动实验:通入0.3A的正弦电流时,微驱动器产生约50mN的电磁力。实验结果表明:这种型微电磁驱动器在相同的输入功率下,比同类其他微电磁驱动器具有更高的能量密度,能产生更大的电磁驱动力。 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/23887 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 吴一辉. 基于MEMS工艺的高能量密度微电磁驱动器[J]. 光学精密工程,2007(6). |
| APA | 吴一辉.(2007).基于MEMS工艺的高能量密度微电磁驱动器.光学精密工程(6). |
| MLA | 吴一辉."基于MEMS工艺的高能量密度微电磁驱动器".光学精密工程 .6(2007). |
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| 基于MEMS工艺的高能量密度微电磁驱动器（530KB） | 开放获取 | -- | 浏览 请求全文 | |||
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