Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
MEMS研究的新进展——微型系统及其发展应用的研究 | |
李路明; 王立鼎 | |
1997-02-28 | |
发表期刊 | 光学精密工程 |
期号 | 01页码:68-74 |
关键词 | 微型系统 微机械 |
文献类型 | 期刊论文 |
条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/31187 |
专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 李路明,王立鼎. MEMS研究的新进展——微型系统及其发展应用的研究[J]. 光学精密工程,1997(01):68-74. |
APA | 李路明,&王立鼎.(1997).MEMS研究的新进展——微型系统及其发展应用的研究.光学精密工程(01),68-74. |
MLA | 李路明,et al."MEMS研究的新进展——微型系统及其发展应用的研究".光学精密工程 .01(1997):68-74. |
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