Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 用于微机械工艺的精密电铸设备 | |
| 陈英俊; 徐峰林; 宣明 | |
| 1995-06-30 | |
| 发表期刊 | 光学精密工程
 |
| 期号 | 03页码:60-63 |
| 关键词 | 微型机械 Liga工艺 精密电铸设备 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/31127 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈英俊,徐峰林,宣明. 用于微机械工艺的精密电铸设备[J]. 光学精密工程,1995(03):60-63. |
| APA | 陈英俊,徐峰林,&宣明.(1995).用于微机械工艺的精密电铸设备.光学精密工程(03),60-63. |
| MLA | 陈英俊,et al."用于微机械工艺的精密电铸设备".光学精密工程 .03(1995):60-63. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 用于微机械工艺的精密电铸设备.caj（82KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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