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准分子激光刻蚀技术在微机械中的应用研究 期刊论文
光学精密工程, 1999, 期号: 05, 页码: 63-66
作者:  梁静秋;  姚劲松
caj(53Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：419/46  |  提交时间：2013/03/11
准分子激光  直接刻蚀  微机械零件