Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 准分子激光刻蚀技术在微机械中的应用研究 | |
梁静秋 ; 姚劲松
| |
| 1999-10-30 | |
| 发表期刊 | 光学精密工程
 |
| 期号 | 05页码:63-66 |
| 关键词 | 准分子激光 直接刻蚀 微机械零件 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/30992 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 梁静秋,姚劲松. 准分子激光刻蚀技术在微机械中的应用研究[J]. 光学精密工程,1999(05):63-66. |
| APA | 梁静秋,&姚劲松.(1999).准分子激光刻蚀技术在微机械中的应用研究.光学精密工程(05),63-66. |
| MLA | 梁静秋,et al."准分子激光刻蚀技术在微机械中的应用研究".光学精密工程 .05(1999):63-66. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 准分子激光刻蚀技术在微机械中的应用研究.（53KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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