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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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研究单元&专题
中科院长春光机所知识... [5]
作者
文献类型
期刊论文 [5]
发表日期
2017 [1]
2016 [2]
2011 [2]
语种
中文 [3]
出处
中国激光 [5]
资助项目
收录类别
EI [2]
资助机构
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WOS被引频次降序
扫描干涉场曝光系统光斑尺寸与光路设计
期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 166-175
作者:
王玮
;
姜珊
;
宋莹
;
巴音贺希格
caj(4189Kb)
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浏览/下载:418/169
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提交时间:2018/04/09
光栅
扫描干涉场曝光系统
高斯光束
光斑尺寸
光路设计
扫描曝光系统中二维工作台x轴测量镜的面形在线检测
期刊论文
中国激光, 2016, 页码: 231-236
作者:
刘兆武
;
李文昊
;
巴音贺希格
;
宋莹
;
姜珊
;
李晓天
;
吕强
caj(310Kb)
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收藏
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浏览/下载:322/86
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提交时间:2018/04/09
测量
光检测技术
二维工作台
测量镜面形
光栅
激光干涉仪
扫描干涉场曝光光束自动对准及其收敛性分析
期刊论文
中国激光, 2016, 期号: 12, 页码: 176-183
作者:
王玮
;
巴音贺希格
;
宋莹
;
姜珊
;
潘明忠
caj(1764Kb)
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浏览/下载:324/123
  |  
提交时间:2017/09/17
光栅
扫描干涉场曝光系统
光束对准
收敛性能
装调误差
基于多像素光子计数器的赝热光场Fano因子研究
期刊论文
中国激光, 2011, 卷号: 38, 期号: 10, 页码: 1008010-1
作者:
张合勇
;
郭劲
;
赵帅
;
王挺峰
Adobe PDF(1542Kb)
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浏览/下载:572/198
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提交时间:2012/05/11
激光远场聚焦特性实验研究
期刊论文
中国激光, 2011, 卷号: 38, 期号: 3, 页码: 0302005-1
作者:
张合勇
;
郭劲
;
赵帅
;
王挺峰
;
邵俊峰
Adobe PDF(1257Kb)
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浏览/下载:497/174
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提交时间:2012/05/11