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| Design of Spot Size and Optical Path in Scanning Beam Interference Lithography System 期刊论文 Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 9 作者: Wang, W.; S. Jiang; Y. Song and Bayanheshig
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| 离轴四反系统的计算机辅助装调技术研究 学位论文 : 中国科学院大学, 2015 作者: 于鑫
Adobe PDF(3804Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:434/3  |  提交时间:2016/04/11 计算机辅助装调 离轴三反 离轴四反 逆向优化 泽尼克 评价
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| Error correction of interferometer detection with high-accuracy rotation method 期刊论文 Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2015, 卷号: 23, 期号: 5, 页码: 1297-1303 作者: Han, D.-S.; X. He; Z.-H. Wei and Y.-M. Li
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| 菲索干涉仪移相器关键技术研究 学位论文 : 中国科学院大学, 2015 作者: 毛石磊
Adobe PDF(3933Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:337/2  |  提交时间:2016/04/11 菲索干涉仪 移相器 微位移 柔性铰链 压电陶瓷 |
| 剪切干涉仪精密相移系统的研制 期刊论文 国外电子测量技术, 2014, 期号: 12, 页码: 57-60 作者: 于长淞 ; 代雷![](/image/person.jpg)
caj(439Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:395/113  |  提交时间:2015/04/17 相移干涉 精密相移系统 压电陶瓷驱动器 柔性铰链 闭环控制 |
| 前馈控制算法校正相移微动台非线性运动 期刊论文 电子测量与仪器学报, 2014, 期号: 8, 页码: 879-884 作者: 张春雷 ; 刘健 ; 王绍治 ; 史振广; 代雷 ; 彭利荣 ; 向阳![](/image/person.jpg)
caj(464Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:409/128  |  提交时间:2015/04/17 压电陶瓷 柔性铰链 位移放大机构 非线性运动校正 相移误差 |
| 太阳极紫外成像光谱仪光学系统研究 学位论文 : 中国科学院大学, 2014 作者: 刘壮
Adobe PDF(4507Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:389/2  |  提交时间:2014/08/21 |
| 干涉仪的仪器传递函数检测方法研究 学位论文 : 中国科学院大学, 2013 作者: 孙鸽
Adobe PDF(2452Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:441/2  |  提交时间:2014/03/15 菲索型干涉仪 干涉仪的仪器传递函数 空间频率响应特性 标准测试板 |
| Φ100mm高重复性波长移相干涉仪研究 学位论文 : 中国科学院大学, 2013 作者: 文刚
Adobe PDF(2678Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:456/2  |  提交时间:2014/03/15 波长移相干涉仪 可调谐半导体激光器 迭代最小二乘法 两帧差分平均移相算法 移相步长标定 |
| 基于电子散斑剪切干涉技术的振动检测研究 期刊论文 长春理工大学学报(自然科学版), 2011, 卷号: 34, 期号: 3 作者: 于长淞![](/image/person.jpg)
Adobe PDF(1430Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:459/112  |  提交时间:2012/05/11 |