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Φ100mm高重复性波长移相干涉仪研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2013
作者:  文刚
Adobe PDF(2678Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：429/2  |  提交时间：2014/03/15
波长移相干涉仪  可调谐半导体激光器  迭代最小二乘法  两帧差分平均移相算法  移相步长标定