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| 基于双频激光干涉仪的精密定位系统设计 期刊论文 实验室研究与探索, 2016, 期号: 11, 页码: 72-75 作者: 陈昊; 陈琦; 蒋贵德
caj(227Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:547/123  |  提交时间:2017/09/17 双频激光干涉仪 气浮导轨 精密定位 前馈控制 |
| 基于直线电机驱动气浮导轨的高精度定位平台实现 期刊论文 电子测量技术, 2015, 期号: 12, 页码: 89-91+95 作者: 姬琪 ; 王红园
caj(267Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:375/104  |  提交时间:2016/07/06 直线电机 气浮导轨 定位平台 闭环控制 |
| 大光栅刻划机气浮刀架导轨设计与分析 期刊论文 中国激光, 2015, 期号: 04, 页码: 266-272 作者: 宋楠; 冯树龙; 于海利; 齐向东; 巴音贺希格; 唐玉国
caj(1313Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:371/163  |  提交时间:2016/07/06 光栅 衍射光栅 光栅刻划机 气浮导轨 双频激光干涉仪 刀架系统 |
| 基于双频激光干涉仪大载荷纳米微动台的研制 期刊论文 实验室研究与探索, 2014, 期号: 12, 页码: 54-57 作者: 陈琦; 钟君
caj(165Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:368/128  |  提交时间:2015/04/17 压电陶瓷 纳米定位 气浮导轨 激光干涉仪 |
| 基于电容微位移传感器的大载荷微动台的研制 期刊论文 应用科技, 2014, 期号: 6 作者: 陈琦
Unknown(565Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:280/77  |  提交时间:2015/04/17 纳米定位 压电陶瓷 气浮导轨 电容微位移传感器 |
| 圆盘气足的工程计算方法 期刊论文 光学精密工程, 1999, 期号: 04, 页码: 48-53 作者: 董吉洪![](/image/person.jpg)
caj(33Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:288/38  |  提交时间:2013/03/11 气浮导轨 圆盘气足 承载能力 |
| 花岗石在精密仪器上的应用 期刊论文 光学精密工程, 1998, 期号: 05, 页码: 55-58 作者: 彭书志
caj(42Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:383/57  |  提交时间:2013/03/11 花岗石 精密仪器 气浮导轨 |
| 复合载荷作用下闭式气浮导轨的有限元计算法 期刊论文 仪器仪表学报, 1997, 期号: 02, 页码: 60-65 作者: 陶家生
caj(76Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:400/50  |  提交时间:2013/03/11 气浮导轨 有限元法 复合载荷 角刚度 |
| 闭式双排节流孔矩形气浮导轨的计算方法(二) 期刊论文 光学精密工程, 1997, 期号: 01, 页码: 56-62 作者: 陶家生
caj(75Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:348/53  |  提交时间:2013/03/12 气浮导轨 高压区系数 承载能力 刚度 |
| 高精度间隙补偿式闭式气浮导轨性能的分析研究 期刊论文 长春光学精密机械学院学报, 1996, 期号: 04, 页码: 43-47 作者: 李志来![](/image/person.jpg)
![](/themes/default/image/downing1.png) 收藏  |  浏览/下载:252/0  |  提交时间:2013/03/11 气浮导轨 间隙补偿式 |