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| 光刻物镜系统波像差横向剪切干涉绝对检测方法研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者: 张璐
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光刻物镜 光学检测 波像差 光栅横向剪切干涉仪 绝对检测 |
| 短相干菲索型动态干涉仪的关键技术研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者: 樊孝贺
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短相干 菲索型 动态干涉仪 条纹图配准 相位解包裹 误差补偿 |
| 面向光子集成应用的有源半导体器件的设计和研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者: 邱橙
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光子集成 光纤通讯 边发射半导体激光器、有源多模干涉波导 分布反馈半导体激光器 |
| 中阶梯光栅拼接及复制技术研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者: 丛敏
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光栅拼接 中阶梯光栅 拼接误差 干涉法 误差分析 |
| 光刻物镜系统波像差横向剪切干涉测量研究 学位论文
博士, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者: 方超
caj(4184Kb) | 收藏 | 浏览/下载：331/0 | 提交时间：2019/09/23
系统波像差 光栅横向剪切干涉 相位复原算法 零级串扰误差 重复精度 |
| 基于衍射光学元件的多波前横向剪切干涉方法研究 学位论文
博士, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者: 崔博川
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波前探测 相位光栅 波前重建 干涉图去噪 温度场测量 |
| 光栅-平面镜型可调式空间外差光谱技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2015
作者: 李涛涛
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空间外差光谱技术 宽波段 傅里叶变换 干涉 光栅色散 |
| 菲索干涉仪移相器关键技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2015
作者: 毛石磊
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菲索干涉仪 移相器 微位移 柔性铰链 压电陶瓷 |
| 光学面形的旋转绝对检测技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 张艳微
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干涉检测 绝对检测 旋转法绝对检测 误差分析 |
| 全息光栅曝光系统干涉条纹静态及动态相位锁定技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 宋莹
Adobe PDF(5623Kb) | 收藏 | 浏览/下载：518/2 | 提交时间：2015/05/03
全息光栅曝光 扫描干涉场曝光 干涉条纹 移频式 静态相位锁定 动态相位锁定 Aom |
