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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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光电式光栅刻划机干涉控制系统及精度分析
期刊论文
长春工业大学学报(自然科学版), 2014, 期号: 6, 页码: 633-638
作者:
张成山
;
孟庆孔
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提交时间:2015/04/17
光电式光栅刻划机
衍射光栅干涉仪
莫尔条纹
光栅刻划机工作台导轨结构形式选择及试验
期刊论文
长春工业大学学报(自然科学版), 2014, 期号: 5, 页码: 506-510
作者:
冯树龙
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提交时间:2015/04/17
光栅刻划机
滚柱导轨
爬行
光栅刻划机导向导轨支撑结构刚度优化设计
期刊论文
长春工业大学学报(自然科学版), 2014, 期号: 5, 页码: 495-499
作者:
姚雪峰
;
糜小涛
;
宋楠
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提交时间:2015/04/17
光栅刻划机
刚度
有限元分析
模态
光栅刻划机300mm行程工作台研制及其自适应控制方法
期刊论文
中国激光, 2014, 期号: 6, 页码: 175-182
作者:
李晓天
;
于海利
;
齐向东
;
朱继伟
;
于宏柱
;
巴音贺希格
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提交时间:2015/04/17
光栅
光栅刻划机
宏微两级工作台
Bp神经网络
Pid控制
自适应控制
光栅刻划机刻划系统光机电集成优化方法研究
期刊论文
湖南大学学报(自然科学版), 2014, 期号: 3, 页码: 43-48
作者:
申远
;
王俊杰
;
竺长安
;
齐向东
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提交时间:2015/04/17
光栅刻划机
光机电集成优化
计算傅里叶光学
智能优化
大型衍射光栅刻划机刀架导轨设计
期刊论文
长春工业大学学报(自然科学版), 2014, 期号: 1, 页码: 42-45
作者:
糜小涛
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提交时间:2015/04/17
衍射光栅刻划机
刀架导轨
静力学分析