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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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阵列型紫外LED匀光照明系统设计
期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 10, 页码: 194-200
作者:
郝剑
;
荆雷
;
王尧
;
卢振武
;
孙强
caj(1514Kb)
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浏览/下载:421/158
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提交时间:2016/07/06
光学设计
紫外曝光
匀光照明
阵列
自由电子激光器用极紫外波段平面变栅距光栅
期刊论文
光学精密工程, 2015, 期号: 08, 页码: 2117-2124
作者:
姜岩秀
;
巴音贺希格
;
赵旭龙
;
杨硕
;
吴娜
caj(346Kb)
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浏览/下载:266/102
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提交时间:2016/07/06
自由电子激光器
平面变栅距光栅
全息曝光
刻线密度误差
分辨能力
高动态科学级CMOS相机系统的设计
期刊论文
液晶与显示, 2015, 期号: 04, 页码: 729-735
作者:
何舒文
;
王延杰
;
孙宏海
;
张雷
;
吴培
caj(346Kb)
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收藏
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浏览/下载:300/149
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提交时间:2016/07/06
科学级cmos
高动态
全局曝光
图像处理
扫描干涉场曝光系统中干涉条纹周期精确测量方法
期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 07, 页码: 55-64
作者:
姜珊
;
巴音贺希格
;
潘明忠
;
李文昊
;
宋莹
caj(3588Kb)
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浏览/下载:252/104
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提交时间:2016/07/06
光栅
扫描干涉场曝光系统
干涉条纹周期测量
相位锁定
小顶角平台硅中阶梯光栅光刻胶掩模制备工艺研究
期刊论文
长春工业大学学报, 2015, 期号: 03, 页码: 288-292
作者:
焦庆斌
caj(265Kb)
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浏览/下载:312/100
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提交时间:2016/07/06
紫外曝光
倒置热熔
硅中阶梯光栅
湿法刻蚀
平面全息光栅曝光系统中的分光器件特性分析
期刊论文
中国光学, 2015, 期号: 02, 页码: 241-247
作者:
姜岩秀
;
韩建
;
李文昊
;
巴音贺希格
caj(177Kb)
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浏览/下载:218/70
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提交时间:2016/07/06
分光光栅
棱镜
空间相位差
曝光系统
稳定性