Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 平面全息光栅曝光系统中的分光器件特性分析 | |
| 姜岩秀; 韩建; 李文昊; 巴音贺希格 | |
| 2015-04-15 | |
| 发表期刊 | 中国光学
 |
| 期号 | 02页码:241-247 |
| 摘要 | 分光器件是全息光栅曝光系统中的关键光学元件,它将入射激光光束分成两束,两相干光束叠加后形成干涉条纹。曝光系统的稳定性不但影响干涉条纹对比度,还影响光栅衍射波前像差、杂散光水平以及光栅掩模刻槽质量。为了提高曝光系统的稳定性,分析入射光束角度偏离与两相干光束夹角(2θ)的关系,并结合干涉条纹周期公式,分别导出了以光栅和棱镜作为分光器件时入射激光束角度偏离量与待制作光栅空间相位差的解析表达式,据此分析了光栅和棱镜曝光系统的稳定性。结果表明,采用光栅分光的曝光系统的稳定性比棱镜分光曝光系统稳定性提高5~6个数量级,这对长时间曝光制作全息光栅具有实际意义。 |
| 关键词 | 分光光栅 棱镜 空间相位差 曝光系统 稳定性 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/54039 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 姜岩秀,韩建,李文昊,等. 平面全息光栅曝光系统中的分光器件特性分析[J]. 中国光学,2015(02):241-247. |
| APA | 姜岩秀,韩建,李文昊,&巴音贺希格.(2015).平面全息光栅曝光系统中的分光器件特性分析.中国光学(02),241-247. |
| MLA | 姜岩秀,et al."平面全息光栅曝光系统中的分光器件特性分析".中国光学 .02(2015):241-247. |
| 条目包含的文件 | ||||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 平面全息光栅曝光系统中的分光器件特性分析（177KB） | 期刊论文 | 作者接受稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 请求全文 | |
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