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平面全息光栅曝光系统中的分光器件特性分析 期刊论文
中国光学, 2015, 期号: 02, 页码: 241-247
作者:  姜岩秀;  韩建;  李文昊;  巴音贺希格
caj(177Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:188/61  |  提交时间:2016/07/06
分光光栅  棱镜  空间相位差  曝光系统  稳定性