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| 光刻物镜系统波像差横向剪切干涉绝对检测方法研究 学位论文 , 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019 作者: 张璐
caj(6271Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:235/0  |  提交时间:2020/08/24 光刻物镜 光学检测 波像差 光栅横向剪切干涉仪 绝对检测 |
| 大偏离度非球面检测畸变校正方法 期刊论文 中国光学, 2017, 页码: 383-390 作者: 高松涛 ; 武东城 ; 苗二龙![](/image/person.jpg)
caj(539Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:433/136  |  提交时间:2018/04/09 计算全息图 Cgh 畸变 非球面检测 |
| 离子束溅射制备低应力深紫外光学薄膜 期刊论文 中国光学, 2016, 期号: 6, 页码: 649-655 作者: 才玺坤 ; 张立超 ; 时光 ; 贺健康 ; 武潇野 ; 梅林![](/image/person.jpg)
caj(317Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:377/147  |  提交时间:2017/09/17 离子束溅射 应力 光学特性 膜厚均匀性 |
| 全频段亚纳米精度氟化钙材料加工 期刊论文 光学精密工程, 2016, 期号: 11, 页码: 2636-2643 作者: 张春雷 ; 徐乐 ; 刘健 ; 马占龙 ; 王飞; 谷永强; 代雷 ; 彭石军![](/image/person.jpg)
caj(596Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:416/130  |  提交时间:2017/09/17 氟化钙 投影光刻物镜 精密光学加工 亚纳米精度加工 离子束修形(Ibf) |
| Sub-nanometer precision optical fabrication of CaF2materials 期刊论文 Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 11 作者: Zhang, C.-L. ; L. Xu; J. Liu; Z.-L. Ma; F. Wang; Y.-Q. Gu; L. Dai and S.-J. Peng
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| 双光子荧光显微镜扫描控制与成像系统研究 学位论文 : 中国科学院大学, 2015 作者: 刘云
Adobe PDF(3215Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:465/3  |  提交时间:2016/04/11 双光子 共聚焦 激光扫描 共振扫描 畸变校正 三维成像 |
| Measurement of thickness uniformity of optic multilayer based on surface figure measurement 期刊论文 Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2015, 卷号: 42, 期号: 7 作者: Wang, H.; F. Zhou; B. Yu; Y. Xie; J. Yu; Y. Liu and L. Wang
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| 光学面形的旋转绝对检测技术研究 学位论文 : 中国科学院大学, 2014 作者: 张艳微
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| 光纤点衍射干涉仪波面参考源研究 学位论文 : 中国科学院大学, 2014 作者: 代晓珂
Adobe PDF(2717Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:256/2  |  提交时间:2015/05/03 光学检测 极紫外光刻 波面参考源 偏振控制 |
| 超高精度非球面面形检测技术研究 学位论文 : 中国科学院大学, 2014 作者: 高松涛![](/image/person.jpg)
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