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| Design of Spot Size and Optical Path in Scanning Beam Interference Lithography System 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 9
作者: Wang, W.; S. Jiang; Y. Song and Bayanheshig
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| 离轴四反系统的计算机辅助装调技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2015
作者: 于鑫
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计算机辅助装调 离轴三反 离轴四反 逆向优化 泽尼克 评价
函数 |
| 菲索干涉仪移相器关键技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2015
作者: 毛石磊
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菲索干涉仪 移相器 微位移 柔性铰链 压电陶瓷 |
| 剪切干涉仪精密相移系统的研制 期刊论文
国外电子测量技术, 2014, 期号: 12, 页码: 57-60
作者: 于长淞 ; 代雷
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相移干涉 精密相移系统 压电陶瓷驱动器 柔性铰链 闭环控制 |
| 前馈控制算法校正相移微动台非线性运动 期刊论文
电子测量与仪器学报, 2014, 期号: 8, 页码: 879-884
作者: 张春雷; 刘健; 王绍治; 史振广; 代雷; 彭利荣; 向阳
caj(464Kb) | 收藏 | 浏览/下载：409/128 | 提交时间：2015/04/17
压电陶瓷 柔性铰链 位移放大机构 非线性运动校正 相移误差 |
| 太阳极紫外成像光谱仪光学系统研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 刘壮
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| 干涉仪的仪器传递函数检测方法研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2013
作者: 孙鸽
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菲索型干涉仪 干涉仪的仪器传递函数 空间频率响应特性 标准测试板 |
| Φ100mm高重复性波长移相干涉仪研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2013
作者: 文刚
Adobe PDF(2678Kb) | 收藏 | 浏览/下载：455/2 | 提交时间：2014/03/15
波长移相干涉仪 可调谐半导体激光器 迭代最小二乘法 两帧差分平均移相算法 移相步长标定 |
