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光栅精密位移测量技术发展综述 期刊论文
中国光学, 2019, 卷号: 12, 期号: 04, 页码: 741-752
作者:  高旭;  李舒航;  马庆林;  陈伟
caj(445Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：345/126  |  提交时间：2020/08/24
位移测量  光栅  高精度测量  衍射干涉  
成像系统倍率高精度测量技术研究 期刊论文
光学学报, 2018, 期号: 07, 页码: 167-176
作者:  董冠极;  唐锋;  王向朝;  冯鹏;  郭福东;  彭常哲
收藏  |  浏览/下载：520/0  |  提交时间：2019/09/17
测量  倍率  Zernike多项式  点衍射干涉法  
基于衍射光栅的干涉式精密位移测量系统 期刊论文
中国光学, 2017, 页码: 39-50
作者:  吕强;  李文昊;  巴音贺希格;  柏杨;  刘兆武;  王玮
caj(407Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：518/153  |  提交时间：2018/04/09
位移测量  光栅  衍射干涉  高精度  
采用衍射、干涉技术提高光电轴角编码器的测角精度和分辨率 期刊论文
光学精密工程, 2001, 期号: 03, 页码: 260-265
作者:  孔智勇;  赵红颖;  熊文卓;  艾华
caj(73Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：452/76  |  提交时间：2013/03/11
光电轴角编码器  激光编码器  衍射干涉