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基于双频激光干涉仪的精密定位系统设计 期刊论文
实验室研究与探索, 2016, 期号: 11, 页码: 72-75
作者:  陈昊;  陈琦;  蒋贵德
caj(227Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：522/119  |  提交时间：2017/09/17
双频激光干涉仪  气浮导轨  精密定位  前馈控制  
基于直线电机驱动气浮导轨的高精度定位平台实现 期刊论文
电子测量技术, 2015, 期号: 12, 页码: 89-91+95
作者:  姬琪;  王红园
caj(267Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：365/101  |  提交时间：2016/07/06
直线电机  气浮导轨  定位平台  闭环控制  
大光栅刻划机气浮刀架导轨设计与分析 期刊论文
中国激光, 2015, 期号: 04, 页码: 266-272
作者:  宋楠;  冯树龙;  于海利;  齐向东;  巴音贺希格;  唐玉国
caj(1313Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：364/161  |  提交时间：2016/07/06
光栅  衍射光栅  光栅刻划机  气浮导轨  双频激光干涉仪  刀架系统  
基于双频激光干涉仪大载荷纳米微动台的研制 期刊论文
实验室研究与探索, 2014, 期号: 12, 页码: 54-57
作者:  陈琦;  钟君
caj(165Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：362/126  |  提交时间：2015/04/17
压电陶瓷  纳米定位  气浮导轨  激光干涉仪  
基于电容微位移传感器的大载荷微动台的研制 期刊论文
应用科技, 2014, 期号: 6
作者:  陈琦
Unknown(565Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：270/72  |  提交时间：2015/04/17
纳米定位  压电陶瓷  气浮导轨  电容微位移传感器  
圆盘气足的工程计算方法 期刊论文
光学精密工程, 1999, 期号: 04, 页码: 48-53
作者:  董吉洪
caj(33Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：285/38  |  提交时间：2013/03/11
气浮导轨  圆盘气足  承载能力  
花岗石在精密仪器上的应用 期刊论文
光学精密工程, 1998, 期号: 05, 页码: 55-58
作者:  彭书志
caj(42Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：376/55  |  提交时间：2013/03/11
花岗石  精密仪器  气浮导轨  
复合载荷作用下闭式气浮导轨的有限元计算法 期刊论文
仪器仪表学报, 1997, 期号: 02, 页码: 60-65
作者:  陶家生
caj(76Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：391/50  |  提交时间：2013/03/11
气浮导轨  有限元法  复合载荷  角刚度  
闭式双排节流孔矩形气浮导轨的计算方法(二) 期刊论文
光学精密工程, 1997, 期号: 01, 页码: 56-62
作者:  陶家生
caj(75Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：342/51  |  提交时间：2013/03/12
气浮导轨  高压区系数  承载能力  刚度  
高精度间隙补偿式闭式气浮导轨性能的分析研究 期刊论文
长春光学精密机械学院学报, 1996, 期号: 04, 页码: 43-47
作者:  李志来
收藏  |  浏览/下载：252/0  |  提交时间：2013/03/11
气浮导轨  间隙补偿式